光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。光刻机一般根据操作的简便性分为三种，手动、半自动、全自动
A 手动：指的是对准的调节方式，是通过手调旋钮改变它的X轴，Y轴和thita角度来完成对准，对准精度可想而知不高了;
B 半自动：指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐;
C 自动： 指的是 从基板的上载下载，曝光时长和循环都是通过程序控制，自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要。
生产集成电路的简要步骤是什么?
1.利用模版去除晶圆表面的保护膜。
2.将晶圆浸泡在腐化剂中，失去保护膜的部分被腐蚀掉后形成电路。
3.用纯水洗净残留在晶圆表面的杂质。
4.其中曝光机就是利用紫外线通过模版去除晶圆表面的保护膜的设备。
5.一片晶圆可以制作数十个集成电路，根据模版曝光机分为两种：
6.模版和晶圆大小一样，模版不动。
7.模版和集成电路大小一样，模版随曝光机聚焦部分移动。
8.其中模版随曝光机移动的方式，模版相对曝光机中心位置不变，始终利用聚焦镜头中心部分能得到更高的精度。成为的主流
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